采用最新表面处理技术、精选BA母材、以电解研磨法使管内表面达到EP等级品质，可按客户要求在无尘室进行包装。
● 内管Ra最低值在0.1～0.2μm(2μin～4μin)范围内
● Cr/Fe＞1～1.5，CrO/FeO＞1～2
● 符合SEMI F19-0304及ASME BPE-2012相关标准要求
5. 摘要 Summary 鉴于大量的影响参数和由此产...
4.3 电化学（阳极）清洗 Electrochemical (anod...
4.2 化学去除方法 Methods of chemical remova ...
3. 清洁和维护 腔室 Cleaning and m...
时间：2023年9月22日 地址：浙江温州温德姆酒...
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