满足不同需求及产品特性(耐蚀性能、力学性能、工艺性能等)、采用精细化生产工艺、严格控制化学成分。
● 内管Ra最低值在 0.3μm(12μin)以下
● 符合SEMI F19-0304 、ASME BPE-2012及ASTM A312相关标准要求
5. 摘要 Summary 鉴于大量的影响参数和由此产...
4.3 电化学(阳极)清洗 Electrochemical (anod...
4.2 化学去除方法 Methods of chemical remova ...
3. 清洁和维护 腔室 Cleaning and m...
时间:2023年9月22日 地址:浙江温州温德姆酒...
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